半導體應變計(有基底)選用優質單晶硅,采用美國硅谷技術,平面工藝制作,粘貼在鋅酚醛樹脂或進口材料膜的襯底上制成的。是一種利用半導體單晶硅的壓阻效應制成的一種敏感元件,在工業生產中應用非常廣泛。它的使用特點是:易操作、使用方便、靈敏系數高、機械滯后小、阻值范圍寬,橫向效應小等特點。一、半導體應變計貼片工藝1、檢查、選取應變計。在成組應變計當中,選取阻值接近、外觀無瑕疵,制作良好的應變計,進行匹配成組(4片一組,或2片一組),分組待用。2、將制作好的彈性體貼片處進行打磨處理。貼片面要求平整,無明顯的彎曲,要求打磨出彈性體本色(去掉氧化層)。建議用0號砂紙。打磨紋路和粘貼應變計單晶硅敏感柵形成45°角為 。3、對打磨后的貼片面進行清洗。要求在清洗時,先用丙酮棉球,對打磨表面殘留的污染灰塵及少量污物進行擦拭,再用 再次進行清洗。清洗的標準:清洗棉球用肉眼觀察沒有污物痕跡。4、劃線。在粘貼應變計之前,要根據技術要求進行劃出,基本根據貼片圖紙要求測量出貼片位置,進行定位貼片劃線。5、貼片膠水。一般我司生產的半導體應變計,使用膠水是國產H-610膠水。使用方法如下:有基底的半導體應變計先在要貼片面,用毛筆涮上貼片膠水。要求涮膠厚度不易太厚,涮膠面厚度均勻。然后將應變計對準劃線位置輕輕粘貼,隨即用手指均勻擠出多余膠液及氣泡。6、加壓。將事先制作好高溫薄膜(聚四乙烯薄膜)放在半導體應變計上,再壓上4-5mm厚的硅橡膠板。7、貼片夾具。所有貼片工作完成后,應對貼片應變計進行加壓固化。半導體應變計的加壓有別于箔試應變計,它的加壓力以0.05Mpa-0.1Mpa為 。貼片夾具。以彈性不是太強的不銹鋼彈夾為佳,不同彈性體設計不同專用夾具 。(本公司經驗建議)8、固化溫度。應變計貼好后,將工件帶夾具放入恒溫烘箱,以每分鐘2℃的速率由室溫升溫至135℃。保溫2小時。然后隨著烘箱冷卻至室溫后。卸去貼片夾具(卸壓)再用同樣的速率升溫至165℃。保溫2小時。再隨烘箱冷卻至室溫。9、半導體應變計焊接工藝提示:1)半導體應變計在貼片操作、焊接時,不要觸碰金絲焊點,以免造成應變計焊點損傷。出現應變計斷路。2)使用電烙鐵焊接時,電烙鐵溫度不宜過高,以免造成應變計焊點絕緣強度降低。建議使用20w的電烙鐵,輸入電壓180V~200V。二、半導體應變計金線焊接的建議1、半導體應變計金線是直徑50um,純度大于99.99%,焊接前確認金線干凈沒有貼片膠水等的粘附。2、傳感器彈性體方便焊接的位置(接近半導體應變計利于絕緣)粘貼的銅接線端子保持潔凈無氧化。3、用清潔絲、清潔海綿清潔30W~70W小功率控溫電焊臺烙鐵頭,焊接溫度設定在238攝氏度,用焊鐵測試儀校準焊嘴溫度。4、使用Sn/Ag/Cu無鉛焊絲。5、可以使用銅免洗助焊劑。6、酒精棉或者超聲清潔焊點后烘干。7、測量半導體應變計電阻。8、測量絕緣電阻。文章來源:南京天光電氣王工17372255369
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